2次元検出器による強誘電体薄膜の配向評価

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強誘電体薄膜は、メモリ応用やMEMS応用などの応用が期待されています。その自発分極軸を電界印加方向に揃える必要があることから、特に配向に関する知見を得ることが重要です。配向評価はX線回折の得意とする手法ですが、リガク独自の光学素子と、2次元検出器により、複数の配向成分(ドメイン)の配向軸や、その配向性等の情報を、わずか数分で視覚的に確認することが可能です。


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