高速1次元X線検出器による逆格子マップ測定~SiGe薄膜の格子歪み量(緩和率)の評価~

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SiGe(シリコンゲルマニウム)を応用したトランジスターは、消費電力が小さく、高速で動作します。SiGeは、SiにGeを固溶させたもので、Siよりも移動度が高く、格子歪み量が大きいほど大幅な移動度の増大が期待できます。この格子歪み量(緩和率)や結晶性の状態を評価する方法として、X線逆格子マップ測定がありますが、1次元検出器を用いることで、迅速に評価することができます。


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