微衍射

小样品或小领域的XRD分析,包括Mapping分析

执行小样品或大样品的小区域的X射线衍射(XRD)分析通常称为微衍射。当样品对于光学系来说太小时,请考虑技术的选择和常规衍射仪的准确性。采用微X射线以便衍射特性可以作为样品位置函数被描绘出。通过准确定位样品表面的小领域X射线的能力,其信息可以作为一个衍射函数图(DFM)被绘制。衍射数据可以包含关于化合物鉴定、晶体取向(结构)、应力、结晶度和晶粒尺寸的信息。由于小领域影响成品率和可靠性,微衍射的领域在材料研究和制作中迅速增长。微衍射分析的应用包括:图案晶片的测试焊点,由组合化学组成的化合物库,地质样品的杂质,金属或塑料组件的故障和制造的品质管理(QC)。

仪器

  RAPID II
弯曲成像板(IP)XRD仪器,特点为极大孔径和旋转阳极或密封型X射线管线源(二选一)
    TTRAX III
世界最大功率θ/θ高分辨率X射线衍射仪,特点为面内衍射机械臂
    MFM65
用于图案化晶片的工程管理用XRR、XRF和XRD计量工具,最高可测量300mm的晶片