高スループット薄膜用X線回折装置 SmartLab HTP

  • 2カセット式 オートローダー搭載
    50mm~150mm対応オートローダーを搭載しています。カセットを装置外部にレイアウト。プログラム測定中に緊急割り込み測定が可能です。 バーコードリーダーにも対応しています。 
  • 高強度X線源による高スループット測定
    高強度X線とオートローダー方式の採用により、高スループット測定を可能にしました。 X線源は回転対陰極型高強度X線管と封入型X線管が選択できます。 各種光学系との組合せにより様々な薄膜測定に対応します。 
  • 試料水平保持方式
    貴重な試料の脱落の心配なく、また試料自重による歪み等を与えることなく測定できます。
  • CBOテクノロジー
    リガクの特許技術である Cross Beam OpticsTM(CBO) を標準装備し、各種基本光学系の切換操作をシンプルにしました。 リガク独自の光学系調整機能をさらに進化させ、各種高分解能光学系の設定・最適化調整を自動化しました。
  • Guidance機能搭載
    リガクの分析ノウハウを凝縮した SmartLab Guidanceソフトウェアが、各アプリケーションに最適な光学系ユニットの選択から、測定条件の設定・実行までの測定シーケンスを自動的に設定します。 
  • アプリケーション
    方位・配向分析、組成分析、結晶性評価、格子緩和評価、格子歪・残留応力評価、膜厚分析、界面ラフネス分析、密度分析、面内均一性評価など
  • クリーンルーム対応
    フィルターユニットを搭載し、クリーンルーム環境に適応します。 データ伝送機能も備えています。
SmartLab HTP

全自動水平型X線回折装置 SmartLabに、50mm~150mmウェーハ自動搬送機構を搭載した、高スループットX線回折装置です。
各種薄膜の結晶性、組成、配向性、膜厚、密度 および 基板の反り測定などの自動連続測定が可能です。生産工程現場やクリーンルーム内で自動QCを実現しました。
ソフトウェアが最適レシピを提供してくれる「ガイダンス機能」を搭載しています。





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