磁気シールユニット 真空用磁性流体回転軸シールユニット

  • リガクは、『欲しいシールがすぐ見つかる』をコンセプトに、磁気シール規格品のラインナップを一新しました。従来の10シリーズ57機種から、15シリーズ72機種へと製品ラインナップを充実させ、オプションによるシャフト形状のカスタマイズなど、磁気シール規格品がより便利にご利用いただけるようになりました。さらに、コスト低減にも努め、お求め易くなっております。
  • クリーン環境対応磁気シール
    お客様からのご要望の多かった、大気側のみにベアリングを配置した片持ちタイプが『カンチレバーシリーズ』として規格品に加わりました。
    さらに、低蒸気圧・耐食使用の磁性流体を規格品で選択できるようになり、クリーン環境に標準対応いたします。
  • 簡単モータ取り付け
    モータと磁気シールを同軸上に取り付け可能な磁気シールが規格品に加わりました。磁気シールのケースにモータマウント用タップ穴加工済みなので、モータが手軽に接続できます。
    モータ、モータマウントおよびカップリングのセット販売も承ります。装置の設計・製造工数の軽減やスペースの削減にお役立て下さい。
  • 磁気シール取り付け・接続方法の選択肢が増えました
    コンフラットフランジ、クランプフランジ(クイックカップリング)磁気シールが、新しく磁気シール規格品に加わりました。
    また、お客様の磁気シール接続方法に合わせて、シャフト先端形状をストレート・Dカット・キー溝加工の3タイプからお選びいただけるようになりました。
  • 中空シャフト用磁気シールの小型化
    中空シャフトの内径Φ40以上の片持ちタイプ磁気シールがコンパクトになりました。クロスローラーベアリングの採用により、通常のボールベアリング採用品に比べて全長が約半分となり、装置の省スペース化に貢献します。
  • 共通仕様
    耐真空度:10-6Pa~ATM
    許容Heリーク量:9.9×10-11Pa・m3/sec(He)以上
    使用温度:10℃~120℃(低蒸気圧磁性流体使用時)
    使用雰囲気:真空中、活性ガス、不活性ガス
vacuum(RM)

磁気シールユニットは半導体製造装置、FPD製造装置、太陽電池製造装置など先端産業に使用される回転軸シールです。磁性流体を使用した非接触のシールなので、オイルシールなど接触シールと比較して「クリーン」「高真空」「長寿命」を特徴としています。

詳しい情報はこちら  
(理学メカトロニクス株式会社ホームページ)へ





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