高速2次元X線検出器 PILATUS3 R 100K

  • 広範囲の2次元X線回折イメージを数分で測定
    広範囲の2次元X線回折イメージを観測することができます。また、ダイナミックレンジが広いため、弱配向成分の微弱な回折スポットからSi基板やPt下地層の高強度のスポットまで、アッテネータ等を用いず一度に測定することが可能です。
  • 高速in situ 測定が可能に
    データ読み出し時間の短さを生かして、様々なin situ 測定への応用が可能です。結晶相転移などの構造変化をリアルタイム観察できます。
  • 微小領域評価に威力を発揮
    薄膜からの微弱な回折線も回折角度ごとに信号強度を積算することにより効率よく検出できます。
  • 調整簡単、メンテナンスフリー
    ダイナミックレンジが広いため、アッテネータを使用せずに調整が可能。検出器の設置から測定までを短時間で行えます。また、半導体検出器では、ガス検出器の場合に必要なガス交換や内部芯線の洗浄が必要ありませんので長期間、安心してお使いいただけます。
  • 対応機種
    SmartLab、NANO-Viewer
PILATUS 100K

検出面積が33.5×83.8 mm2の2次元検出器です。従来比1/1000以下の低ノイズ、約1000倍のデータ読み出し速度を実現し(当社標準CCD検出器との比較)、試料の相転移の時分割測定など様々な応用が可能です。

  • 2次元検出器による強誘電体薄膜の配向評価
  • 強誘電体薄膜は、メモリ応用やMEMS応用などの応用が期待されています。その自発分極軸を電界印加方向に揃える必要があることから、特に配向に関する知見を得ることが重要です。・・・・・
  • 高速2次元検出器によるCu薄膜材料の配向性評価
  • Cu薄膜はLSIの高速化、大規模化、信頼性の向上のため、Al系金属に代わり、多くの電子材料において配線材料として用いられています。配向状態が特性に大きく関係するため、その評価手法が検討されてきました。・・・・・
  • 広域逆格子マップ測定のデータから異なる配向の存在を評価する
  • 広域逆格子マップ測定では、2θ方向とχ方向(試料あおり方向)の情報が得られます。そのため、2θ/θ測定のプロファイルのみでは判断できなかった異なる配向組織の存在を一目で把握することができます。・・・・・
  • 天然ゴムの伸長結晶化の観察
  • X線回折法は結晶構造の評価以外にも、長周期構造と呼ばれる周期構造の評価が可能です。この長周期構造は一般的な結晶の原子や分子の周期構造に対して、数~数十倍も長い周期を観測する必要があるので、小角散乱測定による評価が重要になります。・・・・・
  • DDS効果が期待される生体膜の構造変化観察
  • 私たちの体を形成する細胞はリン脂質やコレステロールなどから構成された生体膜で仕切られています。リン脂質は親水基と疎水基を持つ両親媒性で、外側に親水基、内側に疎水基を持つ脂質二重層と呼ばれる構造になっています。・・・・・
  • 高速二次元検出器を利用した微小領域測定 ~ 超硬バイトの微小領域評価 ~
  • 切削工具に用いられる超硬バイトは、耐久性向上のために、様々なコーティングがなされています。これまでも、X線回折によるコーティング相の評価が行われてきましたが、場所による組成や結晶性、配向の違いなどを迅速かつ同時に評価したいという要望もあります。・・・・・
  • 高分子フィルムの3方位測定と配向度解析
  • ポリプロピレンやポリエチレンなどの高分子フィルムは機械強度増加のために加熱しながら延伸成形を行います。延伸に伴いフィルム中の結晶成分が配向し、特定の方向に揃うため、粉末試料などで用いる反射法による測定だけでは十分な情報を得ることが困難です。・・・・・
  • X-ray DSCを用いた高分子膜の評価
  • 脱水反応や融点、結晶化などの温度を把握するには熱重量測定(TG-DTA)や示差走査熱量測定(DSC)を用いるのが一般的です。しかし、DSC単独の測定では吸発熱前後の結晶構造の変化がわかりません。・・・・・
  • 電子基板の微小領域マッピング測定
  • 電子基板のように非常に多くの微小部品で構成されている試料を測定する場合、各領域の結晶状態を評価するためには、X線を絞り、特定の領域にのみ照射する必要があります。・・・・・
  • 多結晶Si特定ドメインの極点測定
  • 多結晶体とは複数の単結晶粒子で構成されており、それぞれの単結晶粒子がランダムな方向を向いている状態のことをいいます。多結晶体中の各単結晶粒子の方位は、試料面に対して3次元的な方向の回折強度分布を調べる手法である極点測定で判断できます。・・・・・
  • 金属部品の応力マッピング測定
  • 金属材料に対して外部から力を加えたときに、内部に残留した力(内力)のことを残留応力といいます。金属を曲げた場合、元の形状まで戻れば残留応力は生じませんが、弾性限界を超えて変形したままの場合に・・・・・
  • PILATUS3 R 200Kを用いた高分解能測定例
  • ハイブリッドピクセル検出器であるPILATUS3 R 200Kは、フォトンカウンティング型検出器で、弱い回折線も効率よく検出することができます。暗電流や読み出しノイズがゼロのためS/Nが非常によく、さらに広いダイナミックレンジがあるため・・・・・




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