高精度薄膜解析装置 SuperLab

  • X線源、CMFミラーと光学素子
    X線発生装置MicroMax007HFとCMFミラーの組み合わせにより、2次元的にコリメートされた入射X線が得られます。ゴニオメータ水平方向では平行X線、垂直方向では集光X線が得られます。また、水平方向にはSi(400)やGe(220) などの各種モノクロメータが配置されており、測定の目的に応じてコンピュータ制御で自動的に光学系を切換えることができます。
  • 高分解能インプレーン測定
    ゴニオメータ垂直方向のX線は試料位置で集光します。そのため、試料を水平配置にしてもX線が試料表面に集中します。したがって、最高の分解能が得られる水平面内でインプレーン測定が可能です。高分解能インプレーン測定では、インプレーン方向の結晶性や格子定数を直接かつ高精度に評価することが可能です。特に、従来まで薄膜の歪などを評価するために膨大な測定時間を要した逆格子マップ測定に対してハイスループットを実現します。
  • 高精度ゴニオメータ
    SuperLabのゴニオメータはω、2θ、χ、φの4軸+カウンターχ軸で構成されています。特に、ωと2θ軸は超高分解能エンコーダと閉ループサーボモータによって0.00002°の精度で制御されています。
  • 高分解能X線反射率測定
    高精度ゴニオメータ、SuperLab独自の受光光学系自動切換えシステムと高精度X線入射角度調整法により、高精度X線反射率測定を実現しました。高温炉を搭載したシステムでは、薄膜の体膨張率および線膨張率を評価することができます。
  • Bonse-Hart型インプレーン小角散乱測定
    高分解能インプレーン測定を小角散乱に適用し、Bonse-Hart型インプレーン小角散乱測定を実現しました。たとえば、ナノスケール程度の微細加工によるパターンなどを評価することができます。
SuperLab

SuperLabは微小フォーカスX線源と新開発のCMFミラーの組み合わせにより、インプレーン方向においても光学系の持つ最高の分解能で測定を行うことができる高精度薄膜解析装置です。高精度ゴニオメータによるインプレーン回折を含む高分解能測定は、完全結晶や結晶性の高いエピタキシャル薄膜の構造解析に絶大な威力を発揮します。また、高精度X線反射率測定や、Bonse-Hart型インプレーン小角散乱などの新しいアプリケーションも提案しています。





ステップ1 入力画面
入力必須印は、必須項目です。

お問い合わせ内容

 入力必須お問い合わせの種類
 入力必須お問い合わせ製品

(Ctrlボタンを押しながら
複数の選択が可能です)




上記以外の製品をお問い合わせに追加する場合、下記より装置の種類をお選び下さい。
 入力必須お問い合わせ内容
  (1000文字まで)

ご連絡先入力

 入力必須ご勤務先/学校名
例)株式会社リガク
 入力必須ご所属
例)研究開発部第一課
 入力必須お名前
例)理学 太郎
 入力必須お名前フリガナ
  (全角カタカナ)
例)リガク タロウ
 入力必須E-mailアドレス
例)info@rigaku.co.jp(英数字半角)

こちらのアドレスにお問い合わせ内容の確認メールを送らせていただきますので、お間違いのないようご入力願います。
 入力必須 郵便番号
例)196-8666(数字半角)
 入力必須都道府県
 入力必須ご住所
例)昭島市松原町3-9-12
 入力必須電話番号
例)042-545-8111(数字半角)
   Fax番号
例)042-544-9795(数字半角)
   ご意見・ご要望
  (1000文字まで)
その他ご意見・ご要望等がございましたら、こちらにお書き添えください。
ご記入いただいた個人情報は、本件に関するお客様へのご連絡に利用させていただくことがあります。