X線トポグラフイメージングシステム XRTシリーズ

  • X線用カメラとパソコンにより、安全容易に操作できます。
  • イメージングプレート(IP)読み取り装置と組み合わせることで、フィルム法に比べ測定時間が格段に短縮できます。また、画像処理がPCで行えます。
  • Moターゲットで、ラング法(透過法)によりウェーハの観察ができます。
  • 反射法の場合はCuターゲットに交換します(真空パスが必要になります)。
  • 独自の湾曲補正機構により、湾曲した結晶でも、その湾曲度に応じて撮影することができます。
  • X線源は、3kW(封入管)、18kW(ロータ型)が選択できます。
XRTシリーズ image

Si、Ge、GaAs、SiC、水晶、LN、LT、サファイヤ、ルチル、蛍石、その他さまざまな単結晶材料から加工製造されるデバイスが、近年増えてきました。これら単結晶材料の「結晶の不完全性の評価」「積層欠陥像」「転位像」「析出物の点状像」「不純物濃度変化による、ゆるい縞状コントラスト」をX線回折顕微法により調べることができます。





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