Структурные изменения сплава Whistler из-за термической обработки

Дифрактометрия тонких пленок может быть использована для изучения изменений в поверхностных и интерфейсных положениях, вызванных термической обработкой, а также изменений в кристаллической структуре.

Используя in-plane геометрию, доступную с многофункциональной дифракционной системой Ultima IV, была изучена зависимость поведения от температуры 100 нм тонкой пленки сплава Whistler (Co2MnGe) на кремниевой подложке с тонкой пленкой оксида, а также появление гетеро фаз при термической обработке.

По результатам измерения обнаружено, что пленка Co2MnGe слабо кристаллизована изначально, кристаллизуется при термической обработке в структуру L21, и при дальнейшем повышении температуры кобальт осаждается на пленке. (Кристаллическая структура L21 состоит из четырех кубов, в которых атом в центре решетки отличается от атомов в ее углах и прилегающие кубы имеют различные атомы в центре решетки.)

В результате проведения точных дифракционных измерений и рефлектометрии обнаружено, что кристалличность, постоянная решетки, поверхность и шероховатость интерфейса зависят также от температуры термической обработки.

Whistler alloy

In-plane and Out-of-Plane

UltimaUltima IV представляет собой передовой многоцелевой рентгеновский дифрактометр. Внедрение CBO оптики, запатентованной компанией, на постоянной основе, надолго выровненной и с выбираемыми пользователем геометриями (параллельнного пучка или фокусирующей) - все это позволяет выполнять множество различных измерений ... быстро. Read more about Rigaku's Ultima IV...