高速2次元X線検出器を利用した微小領域測定 ~ 超硬バイトの微小領域評価 ~

切削工具に用いられる超硬バイトは、耐久性向上のために、様々なコーティングがなされています。これまでも、X線回折によるコーティング相の評価が行われてきましたが、場所による組成や結晶性、配向の違いなどを迅速かつ同時に評価したいという要望もあります。今回使用した光学素子と検出器を用いると短時間で簡便にこれらの評価が可能となります。


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