MFM310 应用

MFM310 应用

  • Micro-XRR: 薄膜厚度、密度和粗糙度测量
  • Micro-XRF: 薄膜厚度和组成测量
  • Micro-XRD: 相位、结晶度和择优取向测量
  • 从1微米的超薄膜的厚度测量
  • 通过XRR进行多层介质膜测量
  • 通过XRF进行多层金属膜测量
  • 通过XRF进行多层金属膜测量
  • 通过XRD进行结晶度和择优取向测量