TXRF-V310 附件

TXRF-V310 附件

  • 全工厂自动化的GEM-300自动软件
  • 实现描画全晶圆的SP-TXRF性能
  • 实现零边缘排除测定的ZEE-TXRF性能
  • 实现晶圆正面和背面全自动测定的BAC-TXRF性能
  • 晶圆斜角VPD性能
  • 双VPD扫描
  • 为在小瓶中VPD收集液滴的插入物