TXRF 3760 应用

TXRF 3760 应用

TXRF分析应用不仅限于分析裸Si晶圆的金属杂质。TXRF分析可以对所有制造工厂进程进行杂质测量,包括清洁、光刻、蚀刻、灰化、薄膜等。除了硅设备,TXRF还适用于复合半导体设备、MEMS(微机电系统)、有机发光材料等领域。

  • 裸晶圆
  • 薄膜晶圆
  • 化晶圆
  • VPD处理晶圆
  • 玻璃镜片
  • GaAs / SiC / 蓝宝石