WDA-3650 应用

WDA-3650 应用

  • 隔离薄膜:SiO2、BPSG、PSG、AsSG、Si3N4、SiOF、SiON等
  • 高钾和强电性介质薄膜:PZT、BST、SBT、Ta2O5、HfSiOx
  • 金属薄膜:Al-Cu-Si、W、TiW、Co、TiN、TaN、Ta-Al、Ir、Pt、Ru、Au、Ni等
  • 电极薄膜:掺杂多晶硅(掺杂物:B、N、O、P、As),无定形硅、WSix、Pt等
  • 其他掺杂薄膜(As、P)、封闭惰性气体(Ne、Ar、Kr等)、C(DLC)
  • 铁电薄膜、FRAM、MRAM、GMR、TMR;PCM、GST、GeTe
  • 焊锡凸块组成:SnAg、SnAgCuNi
  • MEMS:ZnO、AlN、PZT的厚度和组成
  • SAW 设备处理:AlN、ZnO、ZnS、SiO2(压电薄膜)的厚度和组成;Al、AlCu、AlSc、AlTi(电极薄膜)