蓝宝石上AIN外延膜的高分辨率X射线倒易空间作图

在半导体外延膜应用中晶体质量和应变状态是至关重要的。使用理学SmartLab多功能衍射仪,高分辨率X射线倒易空间作图提供最可靠的晶体质量和应变状态的定量分析。例如,当AIN外延膜在蓝宝石(001)基板的最上层形成时,薄膜和基板之间的晶格错配往往导致应变驰豫。

诱导的失配位错不利于薄膜的质量。如下图所示,显示了围绕蓝宝石(006)的一个对称的倒易空间图和围绕蓝宝石(119)的一个非对称倒易空间图。在对称图中,AIN(002)峰更为宽广,说明了与基板相比薄膜质量相对恶劣。在非对称图中,AIN(113)峰出现在一个不同于蓝宝石(119)峰的面内q值位置,说明了该薄膜的部分应变驰豫。这明确说明了驰豫诱导的失配位错是导致AIN薄膜恶劣晶体质量的原因。


SmartLab是当下最新型的高分辨率衍射仪。它的最新特点是SmartLab Guidance软件。此软件向用户提供智能界面,指导用户完成每个实验中的复杂问题。使用SmartLab Guidance软件就像有一位专家在您的身边指导完成实验。 Read more about SmartLab...