通过X射线倒易空间Mapping(RSM)和摇摆曲线(RC)分析蓝宝石衬底上的InN晶膜薄膜的特征

GaN、InN、AIN和它们的合金是用于蓝色发光器件的材料,其中包括用于蓝光DVD。 这些材料的另一个重要潜在应用是白光LED照明,很多人都希望它能取代现在使用的能源效率低下的灯泡。在任何一种情况下,发光器件的性能取决于一个关键因素,那就是材料的质量。有很多评估这些氮化物薄膜质量的方法,但X射线RSM和RC是唯一在非破坏性方式下提供关于晶格常数变化、合金成分、错配应变和应变松弛、格子倾斜和位移相关的马赛克性的定量信息的方法。理学的SmartLab多功能衍射仪设计适应各种高分辨率XRD需求。单色器模块,例如Ge(220)x2、Ge(220)x4、Ge(440)x4、和Ge(400)x4的切换快捷简便。单色器的调节是全自动的。Ge(220)x2分析仪用于高分辨率RSM和晶格常数的测量。如下图所示,结合Ge(220)x2单色器和Ge(220)x2分析仪,显示一种InN/Sapphire(0001)晶膜薄膜RSM测量和相应的RC。RSM和RC覆盖了Sapphire(0006)和InN(0002)Bragg峰。InN膜的主峰正如预期的一样是清晰的六角形。InN(0002)峰的一个明显的特点是它沿着Omega方向扩大,说明了在此薄膜中存在高密度位移。此外,在InN(0002)和与InN(0002)具有相似形状的Sapphire(0006)之间观察到一个弱峰。此峰被标识为立方InN(111)。这表明在InN膜(111)方位上还存在一个次要的立方相。


a RSM measured from an InN/Sapphire (0001) epitaxial film with a combination of a Ge(220)x2 monochromator and a Ge(220)x2 analyzera RSM measured from an InN/Sapphire (0001) epitaxial film with a combination of a Ge(220)x2 monochromator and a Ge(220)x2 analyzer


SmartLab是当下最新型的高分辨率衍射仪。它的最新特点是SmartLab Guidance软件。此软件向用户提供智能界面,指导用户完成每个实验中的复杂问题。使用SmartLab Guidance软件就像有一位专家在您的身边指导完成实验。 Read more...