测量硬盘上的钴磁性薄膜

在最常见的X射线衍射2θ/θ测量中,观察到晶格面平行于样品表面。另一方面,在面内测量中,扫描计数轴平行于样品表面,观察到晶格面垂直于样品表面。当使用这两种扫描法时,可以从两个方向观察到样品的晶格。通过比较从2θ/θ测量和面内测量获得的晶格指数,可以测量样品的三维取向状态。

图1(a)显示使用理学SmartLab多功能衍射仪2θ/θ测量硬盘上钴磁性薄膜的结果。在2θ/θ测量中,当X射线深深射入样品中时,不仅可以观察到Co(110)晶格面(钴为六角形晶体),从基板上的铝(Al)和铬(Cr)发出的衍射峰,还有非晶NiP的衍射晕。

图1(b)显示使用面内测量的当晶格面垂直于样品表面时的测量结果。在图1(b)中观察到例如Co(100)、(002)和(101)的晶格面垂直于Co(110)晶格面。这两个衍射图分别表示圆周方向和半径方向上侧来那个的硬盘的晶格面结果。通过比较Co(002)衍射峰值强度,可以发现Co层是沿着图1(c)中c轴圆周的面内取向。

Measurement result of a cobalt (Co) magnetic thin film on a hard disk



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