非破坏性观察InN、GaN和GaAs的深度方向变化

使用理学SmartLab多功能衍射仪,通过面内X射线衍射法,可以非破坏性分析在薄膜表面上发生的取向、晶格常数和组成在深度方向的变化。在面内衍射法中,X射线以掠射角度穿透薄膜样品表面。通过精确控制入射角,可以控制X射线射入样品的深度。在下图所示的示例中,随着入射角度的增加,开始只观察到最上面的表面层。然后GaN出现,当入射角继续增加时,GaAs基板的信号开始出现。


X-rays penetrate the surface of a thin-film sample at a glazing angle

SmartLab是当下最新型的高分辨率衍射仪。它的最新特点是SmartLab Guidance软件。此软件向用户提供智能界面,指导用户完成每个实验中的复杂问题。使用SmartLab Guidance软件就像有一位专家在您的身边指导完成实验。 Read more about SmartLab...