ZnO、MgO和蓝宝石的超薄膜面内倒易格子图的测量

即使薄膜厚度极其薄,使用理学SmartLab多功能衍射仪并配备一个面内附件通过执行面内倒易格子图测量法,可以轻松分析晶体取向与基板的关系。在面内衍射法中,X射线以一个掠射角度射入薄膜样品表面,这就是为什么可以有效探测到来自薄膜的信号。通过逐渐更改样品方向获得信号,与薄膜样品取向相关的信息可以使用倒易格子图测量获得。


In-plane reciprocal lattice map measurement

面内倒易格子图测量示例 ZnO(100nm)/MgO(7nm)/蓝宝石

在上图显示的示例中,发现一个大约7nm厚的薄MgO缓冲层外延生长。分析表明它有如右图所示的取向关系(ZnO(0001)[1120]//MgO(111)[110]//蓝宝石(0001)[1100])。
引用:
Appl. Phys. Lett., (2001) vol.78, no.21, pp3352-3354, Y.F. Chen et al.


SmartLab是当下最新型的高分辨率衍射仪。它的最新特点是SmartLab Guidance软件。此软件向用户提供智能界面,指导用户完成每个实验中的复杂问题。使用SmartLab Guidance软件就像有一位专家在您的身边指导完成实验。 Read more about SmartLab...