外延合金薄膜的组成和厚度

高分辨率X射线摇摆曲线常用于确定精确的外延合金薄膜的组成和厚度。理学的SmartLab®衍射仪提供理想是和该目的的可变分辨率光学。SmartLab光学模块设计使用户轻松插入自己选择的不同光学元件,例如用于入射光束的Ge(220)x2、Ge(220)x4、Ge(400)x2、或者Ge(440)x4单色器和用于衍射光束的Ge(220)x2分析仪。这些光学模块可以通过控制计算机被自动检测,并且可以自动调整。一个自动可变的接收狭缝也适用于衍射光束。
如下图所示,使用标准2kW封入式发生器和一个Ge(220)x2单色器通过分子束外延法测定在GaAs(001)基板上成膜的AlxGa1 xAs三元合金薄膜的摇摆曲线。整个扫描大约花费2分钟。除了GaAs基板峰和AlxGa1-xAs薄膜峰,反映在极板和薄膜表面上的由于X射线的干涉作用导致的厚度条纹也清晰地被记录出来。可以从薄膜峰与基板峰的分离(0.104°)确定薄膜的组成率x=0.95。可以从厚度条纹的分离(0.006°)确定膜厚为8772.8 Å。

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SmartLab是当下最新型的高分辨率衍射仪。它的最新特点是SmartLab Guidance软件。此软件向用户提供智能界面,指导用户完成每个实验中的复杂问题。使用SmartLab Guidance软件就像有一位专家在您的身边指导完成实验。 Read more...