纹理薄膜

下图显示了使用理学SmartLab高分辨率衍射仪测量一个在170nm厚AlN薄膜外延生长c蓝宝石基板上的极图。当从AlN薄膜反射出六重蓝点时,在红色环线上的三重绿点从蓝宝石基板发出。

薄膜通过物理或化学沉积技术生长,通常会显示纹理结构,这是它们各向异性的物理特性的原因。X 射线极图分析可以提供薄膜纹理的定量信息和薄膜与基板之间的外延关系。

Measured pole figure of a 170 nm thick AlN thin film

下面的极图显示,AlN的晶胞相对蓝宝石基板旋转30°。此外,AIN薄膜高取向,面外倾斜和面内弯曲小于0.5°。

crystal unit cell of AlN is rotated



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