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Metrología de semiconductores

Semiconductor metrology

XRF, XRD y XRR para caracterización de película delgada

Dentro de la industria de los semiconductores, existe una demanda continua de Circuitos Integrados (IC) que entreguen un mayor rendimiento a un menor costo que sus predecesores. Las herramientas de metrología de obleas se utilizan para diseñar y fabricar Circuitos Integrados, controlando cuidadosamente las propiedades de la película, los anchos de línea y los posibles niveles de defectos para optimizar el proceso de fabricación de estos dispositivos. Las herramientas de metrología combinadas con las capacidades de inspección de obleas garantizan un enfoque apuntado a las propiedades físicas y eléctricas de los dispositivos semiconductores en producción. La metrología de obleas puede identificar específicamente partículas de la superficie, defectos de patrones y otras condiciones que podrían causar efectos adversos en el rendimiento de estos dispositivos.

Rigaku es pionero y líder mundial en el diseño y fabricación de herramientas de medición basadas en rayos X (difracción de rayos X, fluorescencia de rayos X y reflectometría de rayos X) para resolver los desafíos de la fabricación de semiconductores. Con un liderazgo de casi 30 años en el mercado global en la industria de semiconductores, nuestras familias de productos permiten todo, desde la metrología de control de procesos en fab hasta la I+D para la caracterización de materiales y películas delgadas.

Rigaku recommends the following systems:


XRD

Advanced state-of-the-art high-resolution XRD system powered by Guidance expert system software

Applications

The following applications are relevant to this industry

XRD