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Semiconductors

Semiconductors

Film thickness/composition and wafer contamination tools

Rigaku is a pioneer and world leader in designing and manufacturing X-ray technology based instrumentation to solve manufacturing challenges in semiconductor R&D and production. With more than 35 years of global market leadership in this industry, our families of products enable everything from in-fab process control metrology to R&D for thin film and materials characterization. Our X-ray Diffraction (XRD), X-ray Fluorescence (XRF), X-ray Reflectometry (XRR) and X-ray topography (XRT) metrology tools measure critical process parameters like thin film: thickness, composition, roughness, density, porosity, and crystal structure and crystal structure defects. In addition, we offer process Total Reflection X-ray Fluorescence (TXRF) and Vapor Phase Decomposition-Total Reflection X-ray Fluorescence (VPD-TXRF) tools for contamination measurement. With global 24/7 service and support, Rigaku delivers cutting-edge solutions for your yield enhancement and process development.

Rigaku recommends the following systems:


Semiconductors

XRF y herramienta de metrología óptica para obleas planas y obleas con patrones; obleas de hasta 300 mm

Herramienta de metrología de procesos XRR, XRF y XRD para obleas con y sin patrones; obleas de hasta 300 mm.

Espectrómetro WDXRF simultáneo en línea para la metrología de película de metal de obleas; obleas de hasta 300 mm.

Espectrómetro WDXRF simultáneo para la metrología de obleas de película de metal; obleas de hasta 200 mm

Espectrómetro secuencial WDXRF para el análisis elemental y la metrología de película delgada de muestras grandes y/o pesadas

Metrología de contaminación superficial elemental traza por TXRF; obleas de hasta 200 mm

Metrología de contaminación de la superficie elemental traza por TXRF; obleas de hasta 300 mm

Metrología de contaminación de superficie elemental ultratrazas por TXRF con capacidad VPD; obleas de hasta 300 mm

Metrología de contaminación superficial elemental traza por TXRF; obleas de hasta 200 mm

XRD

Sistema avanzado de rayos XRD de alta resolución y tecnología de punta, impulsado por el software del sistema experto Guidance

X-ray CT

Microtomografía de muestras grandes de alta resolución, de sobremesa

High-speed, stationary sample microtomography of large samples

X-ray topography (XRT)

Un sistema de topografía de rayos X de laboratorio rápido y de alta resolución para la reproducción de imágenes de dislocación no destructiva