Pasar al contenido principal

Análisis de película delgada

Thin film analysis

Mediciones de parámetros de red epitaxial

La difracción de rayos X es especialmente valiosa para el estudio de capas epitaxiales y otros materiales de película delgada. Usando métodos de medición precisos de parámetros de red, la falta de coincidencia de la red de una capa epitaxial y su sustrato se puede determinar con gran precisión.  Esta coincidencia o falta de coincidencia de parámetros de red es un factor importante en dispositivos epitaxiales como películas magnéticas de granate para memorias de burbujas, películas de arseniuro de galio dopadas para LED y transistores de alta velocidad, detectores infrarrojos y otros productos electrónicos importantes. Otro uso interesante de XRD para películas delgadas es que el coeficiente de expansión térmica se puede determinar trazando los parámetros de la red frente a la temperatura utilizando un difractómetro de alta temperatura.

Las curvas de oscilación de rayos X de alta resolución a menudo se utilizan para determinar con precisión la composición y el grosor de las películas de aleación epitaxial. El difractómetro SmartLab® de Rigaku, que ofrece una óptica de resolución variable, es ideal para tales propósitos. El diseño modular de la óptica SmartLab permite a los usuarios insertar fácilmente diferentes elementos ópticos de su elección, como los monocromadores Ge(220)x2, Ge(220)x4, Ge(400)x2 o Ge(440)x4, para el haz incidente y un analizador Ge(220)x2 para el haz difractado. Estos módulos ópticos se alinean automáticamente y pueden ser detectados automáticamente por la computadora de control.  Una abertura de recepción variable automática también está disponible para el haz difractado.
 

Application notes

The following application notes are relevant to this application

XRD

XRD, SAXS

EDXRF

WDXRF

X-ray CT

Rigaku recommends the following systems:


XRD

Sistema avanzado de rayos XRD de alta resolución y tecnología de punta, impulsado por el software del sistema experto Guidance

Difractómetro de rayos X multipropósito altamente versátil con guía inteligente incorporada

Sistema XRD multipropósito de alto rendimiento para aplicaciones que van desde I+D hasta el control de calidad.

WDXRF

El espectrómetro secuencial WDXRF con tubo inferior de sobremesa, analiza de O a U en sólidos, líquidos y polvos.

Espectrómetro secuencial WDXRF de alta potencia, de tubo superior con nuevo software de sistema experto Guidance (Guía) ZSX.

High-power, tube-below, sequential WDXRF spectrometer with new ZSX Guidance expert system software

EDXRF

El analizador elemental EDXRF de geometría cartesiana de alto rendimiento mide de Na a U en sólidos, líquidos, polvos y películas delgadas

Nuevo sistema EDXRF de colimador variable de pequeño punto de 60 kV con software QuantEZ

Nuevo sistema EDXRF de 60 kV con software QuantEZ y análisis sin estándares opcional.

El analizador elemental EDXRF de rendimiento mide de Na a U en sólidos, líquidos, polvos y películas delgadas

Espectrómetro EDXRF con potente software de Windows® y FP opcional