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Difracción en plano

In-plane diffraction

Para caracterización de película delgada

Una técnica de difracción de rayos X en la que los haces incidentes y difractados son casi paralelos a la superficie de la muestra, la difracción en plano es un método importante para la caracterización de la película delgada. Con geometrías de difracción estándares, como la geometría de Bragg-Brentano, se miden planos reticulados que son paralelos a la superficie de la muestra. Los rayos X penetran hasta cierta profundidad en la muestra, donde se difractan; sin embargo, si la capa de muestra es demasiado delgada, la muestra transmite completamente los rayos X y no se observa difracción. En estas circunstancias, se utiliza la difracción en plano.

El quinto eje horizontal en plano del SmartLab mide la difracción en plano de la superficie de la muestra. Las películas ultradelgadas de menos de un nanómetro de espesor y la textura de las capas superficiales se pueden analizar sin reubicar la muestra en una orientación vertical inestable. Al acoplar los ejes de barrido verticalmente y en plano, se puede medir por completo la estructura de los materiales texturizados a granel. La muestra siempre permanece en posición horizontal. La colocación horizontal de la muestra también permite el uso del haz de enfoque de línea completa, reduciendo drásticamente el tiempo de medición. No es necesario convertir al punto de enfoque antes del barrido. Con la tecnología CBO del Smartlab y el goniómetro de 5 círculos, los científicos tienen acceso a experimentos más complejos que son más fáciles de realizar.

La difracción en plano tiene dos características principales: la profundidad de penetración del haz está limitada a aproximadamente 100 nm de la superficie. La técnica mide planos de red que son (casi) perpendiculares a la superficie de la muestra, a los que otras técnicas no pueden acceder. 

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Application Notes

The following application notes are relevant to this technique

XRD