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MFM310
Características
  • Rayos X de micropuntos y reconocimiento de patrones.
  • Mediciones de alto rendimiento de obleas de productos.
  • Amplia gama de materiales y aplicaciones.
  • Alta resolución y precisión cubriendo espesores de Ångstroms a micras.
  • Para obleas de 200 mm y 300 mm.
  • Disponible con automatización de fábrica de 300 mm.
  • Diseño basado en SEMI S2 y SEMI S8.

Herramienta FAB de metrología de procesos XRR, XRF y XRD

Espesor, densidad, rugosidad y composición de películas sobre láminas y obleas modeladas

El Rigaku MFM310 realiza mediciones de alta precisión que no son posibles mediante técnicas ópticas o ultrasónicas. Esta sofisticada herramienta de metrología de rayos X logra realizar de manera práctica mediciones de alto rendimiento en productos y obleas que van desde películas ultrafinas de una sola capa hasta pilas multicapa.

Diseñado para la fabricación de alto volumen

El MFM310 está diseñado teniendo en cuenta la fabricación de alto volumen de 200 mm y 300 mm: medición de alto rendimiento del espesor por XRR y XRF; manejo de obleas de baja contaminación y control de la posición basado en el reconocimiento de patrones, para las mediciones de obleas productos; Marcado CE y Cumplimiento S2/S8 de la operación de sala limpia para la producción de semiconductores; cumplimiento de GEM-300/HSMS y estándares de automatización de la fábrica; rendimiento de la máquina de alta confiabilidad y bajo consumo de energía y costo de propiedad.

Tecnología de habilitación COLORS™

La óptica de rayos X COLORS™ fue desarrollada por Rigaku para el MFM310 para permitir mediciones desde áreas pequeñas. Los módulos de haz COLORS acoplan una variedad de fuentes de excitación XRF con óptica y están optimizados para proporcionar un alto brillo en pequeños puntos para una variedad de aplicaciones de película delgada. Con su propio negocio de óptica de rayos X, Rigaku está bien posicionado para desarrollar y fabricar fuentes de rayos X para las actuales y futuras necesidades del mercado.

Especificaciones
Nombre del producto MFM310
Técnica Reflectividad de rayos X, fluorescencia y difracción
Ventajas Mida películas ultradelgadas de una sola capa hasta pilas de varias capas
Tecnología Proceso de micropuntos por XRR, XRF, XRD con 2 puertos de carga FOUP
Atributos principales Marcado CE, cumplimiento S2 / S8 / GEM-300 / HSMSe
Opciones principales Disponible con automatización de fábrica de 300 mm
Computadora PC interna, sistema operativo MS Windows®
Dimensiones principales 1400 (ancho) x 2050 (alto) x 3410 (profundo) mm
Cuerpo  n/a (unidad central)
Requerimientos de energía 3Ø, 208 VAC 50/60 Hz, 2.5 kW

MFM310 video