MFM310
Características
- Rayos X de micropuntos y reconocimiento de patrones.
- Mediciones de alto rendimiento de obleas de productos.
- Amplia gama de materiales y aplicaciones.
- Alta resolución y precisión cubriendo espesores de Ångstroms a micras.
- Para obleas de 200 mm y 300 mm.
- Disponible con automatización de fábrica de 300 mm.
- Diseño basado en SEMI S2 y SEMI S8.
Herramienta FAB de metrología de procesos XRR, XRF y XRD
Espesor, densidad, rugosidad y composición de películas sobre láminas y obleas modeladas
Especificaciones
Nombre del producto | MFM310 |
Técnica | Reflectividad de rayos X, fluorescencia y difracción |
Ventajas | Mida películas ultradelgadas de una sola capa hasta pilas de varias capas |
Tecnología | Proceso de micropuntos por XRR, XRF, XRD con 2 puertos de carga FOUP |
Atributos principales | Marcado CE, cumplimiento S2 / S8 / GEM-300 / HSMSe |
Opciones principales | Disponible con automatización de fábrica de 300 mm |
Computadora | PC interna, sistema operativo MS Windows® |
Dimensiones principales | 1400 (ancho) x 2050 (alto) x 3410 (profundo) mm |
Cuerpo | n/a (unidad central) |
Requerimientos de energía | 3Ø, 208 VAC 50/60 Hz, 2.5 kW |