Espectrómetro simultáneo WDXRF

El espectrómetro de fluorescencia de rayos X WDA-3650, para la evaluación de película delgada, sigue evolucionando los 30 años de historia de los analizadores XRF de obleas de Rigaku; que han reflejado la trayectoria del desarrollo de los dispositivos de película delgada. Esta última herramienta de metrología XRF contribuye significativamente al control del proceso del espesor de la película metálica, la composición de la película y la concentración de elementos con nuevas funciones y un diseño de bajo COO.

Herramienta XRF para obleas de 200 mm

Una herramienta versátil y confiable para obleas de 200 mm y más pequeñas, el WDA-3650 incorpora nuestro sistema de etapa de muestra XY-θ para obtener resultados superiores en mediciones difíciles, como en las películas ferrodieléctricas. Múltiples canales permiten la medición simultánea de múltiples elementos de interés para un alto rendimiento. La alta resolución energética de este sistema XRF dispersivo de longitud de onda, en comparación con los sistemas XRF de dispersión de energía, es especialmente útil para minimizar la superposición de picos cuando los picos de los elementos están muy separados.

Medida superior de boro (B)

Para aplicaciones de boro, el canal AD-Boro disponible proporciona una sensibilidad 5 veces mayor que los modelos anteriores. La función AutoCal y el almacenador interno de obleas incorporado, que antes solo estaba disponible en herramientas de 300 mm, permite la calificación diaria de herramientas totalmente automáticas y la calibración de intensidad.

Diseño compacto y eficiente

El WDA-3650 es extremadamente compacto, ya que la unidad básica requiere menos de 1 m2 de espacio valioso para salas limpias y no es necesario tener acceso al servicio de mantenimiento lateral. El consumo de energía se ha reducido a más del 20% en comparación con el modelo anterior.