El nuevo espectrómetro de fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF), de sobremesa, de próxima generación
Metrología de contaminación de la superficie elemental traza por TXRF; obleas de hasta 300 mm
Metrología de contaminación de superficie elemental ultratrazas por TXRF con capacidad VPD; obleas de hasta 300 mm