インプレーン回折

薄膜のキャラクタリゼーションに

インプレーン回折

入射X線と回折X線が試料表面にほぼ平行なインプレーン回折は、薄膜のキャラクタリゼーションにおいて重要な手法です。

ブラッグ-ブレンターノ光学系のような一般的な配置では、試料表面に平行な結晶面を測定します。X線は試料のある程度の深さまで侵入し、そこで回折しますが、測定したい試料の層が薄いと、X線が透過してしまい、その層からの回折線を観測できません。このようなとき、インプレーン回折が有効です。インプレーン回折は主に下記の特長を持っています。

  1. X線の侵入深さが100 nm 以内
  2. 他の方法では不可能な、試料表面にほぼ垂直な結晶面の測定が可能
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