半導体関連装置

半導体プロセスや半導体研究開発における薄膜構造評価、膜厚・組成分析、表面汚染分析などのニーズに応えます。

半導体プロセス評価装置

半導体プロセス評価装置

インラインX線膜厚・密度モニターなど、半導体プロセスにおける各種薄膜材料の膜厚・組成分析、表面汚染分析などのニーズに応えます。

半導体研究開発関連装置

半導体研究開発関連装置

薄膜評価用蛍光X線分析装置など、半導体研究開発における薄膜構造評価、膜厚・組成分析などのニーズに応えます。

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