MFM310
- 単色化マイクロX線ビームと超高速検出器を搭載
- 高精度測定と高スループット
- ALD膜などの薄い膜から配線などの厚い膜まで様々な膜種の膜厚・密度が測定
- オングストロームからミクロンまでの高分解能および高精度被覆厚
- 200mm、300mmウェーハを4軸試料台に水平支持
- FOUP/SMIFインターフェースを装備、300mm/200mmウェーハに対応
- SEMI S2とSEMI S8に基づくデザイン
インラインX線膜厚・密度モニター
パターンウェーハ対応の蛍光X線(XRF)、X線反射率(XRR)およびX線回折(XRD)によるインライン膜厚・密度モニター
諸元/仕様
製品名 | MFM310 |
手法 | X線反射率、蛍光および回折(XRR、XRF、XRD) |
用途 | 単層超薄膜から多層スタックまで測定 |
テクノロジー | 省電力型の単色化マイクロX線ビームモジュール 「COLORS」、「COLORS-i 」 |
適合性 | CEマーク、S2 / S8 / GEM-300 / HSMS準拠 |
オプション | 300 mmファクトリーオートメーションで利用可能 |
制御(PC) | 内部PC、MS Windows® OS |
本体寸法 | 1400 (W) x 2050 (H) x 3410 (D) mm |
電源 | 三相 208 VAC 50/60 Hz, 2.5 kW |