
Rigaku nano3DX is a true computed tomography (CT) X-ray microscope (XRM) with ultra-wide field of view, 25X larger volume than comparable systems, parallel beam geometry for rapid data collection.
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金属試料の異材判別分析には取り扱いが簡便なエネルギー分散型蛍光X線分析装置が用いられています。また一方では、異材判別レベルのスクリーニング分析にとどまらず、さらに精密な組成分析を現場で行いたいという要求もあります。
しかしながら、Si(Li)半導体検出器やSi-PIN検出器を用いている従来のエネルギー分散型蛍光X線分析装置では、高強度で検出器が飽和し易いため、主成分の測定はできても、金属試料の微量元素の分析は困難でした。
銅合金の分析を高性能のエネルギー分散型蛍光X線分析装置EDXL 300で行いました。EDXL 300は、高計数率対応のSDD(シリコンドリフトディテクタ)検出器と2次ターゲットを組み合わせた偏光光学系を搭載し、高感度分析が可能です。さらに、複雑に重なるスペクトルの解析が可能なRPF-SQX(Rigaku Pro-file Fitting . Spectra Quant X)ソフトウェアにより、正確なスタンダードレス分析を行うことができます。