Изучение тонких пленок оксида молибдена в геометрии скользящего падения пучка ( GIXRD)

Пленки оксида молибдена используются в широком спектре приложений, таких как зеркала заднего вида, дисплеи панелей, газовые сенсоры и т.д.

Геометрия скользящего падения рентгеновского излучения (GIXRD) является жизнеспособной техникой исследования пленок, нанесенных на подложку различными способами. Сигнал от пленки усиливается, в то время как сигнал от подложки либо полностью устраняется или существенно уменьшается, используя эту технику.

На рисунке 1 показано θ/2θ сканирование в стандартной геометрии пленки оксида молибдена (MoO₃), нанесенной на оксид олова (SnO₂) / на стеклянной подложке. Данные были собраны на многофункциональной дифракционной системе Ultima IV от Ригаку. Дифракционные пики от подложки и пленки присутствуют в стандартном скане, а также наблюдается аморфное рассеяние от подложки в районе 2θ = 25°. При стандартном θ/2θ сканировании часть интенсивности рентгеновского излучения проникает сквозь пленку и рассеивается на подложке. Дифракционные пики и диффузное рассеяние от подложки могут пересекаться с дифракционными данными от тонкой пленки, приводя к ошибкам в положении и ширине пиков.

На рисунке 2 показано сканирование того же образца в геометрии скользящего падения пучка. Сигнал от пленки MoO₃ увеличивается, а сигнал от подложки подавляется.

Две дифракционные картины сравниваются на рисунке 3. Видно, что метод скользящего падения пучка успешно устраняет дифракцию и рассеяние от подложки, делая анализ пленки легче и точнее.