蓝宝石基板上AlN薄膜的可变分辨率X射线反射分析

精确控制薄膜厚度是薄膜生长和应用的主要挑战之一。X射线反射是一种快速准确且非破坏性的测量薄膜厚度的技术。技术依赖于散乱在薄膜上下表面的X射线波的干涉作用。干涉条纹之间的间隔，通常称为等厚条纹，与膜厚成反比。因此更高分辨率的光学系统要求测量更厚的膜。

SmartLab衍射仪向膜厚范围之内的最佳性能提供自动调整的、可变的分辨率（0.002～0.1°发散）光学能力。如下图，180nm厚的AlN薄膜沉积在蓝宝石基板上，在0.1和0.01°分辨率下测量。只有0.01°分辨率曲线清晰显示了干涉条纹。通过曲线拟合，AlN薄膜的实际厚度被确定为174nm。