薄膜総合解析ソフトウェア GlobalFit

  • 基本データ処理
    平滑化、BG除去、Kα2線除去、ピークサーチ、といった従来のデータ処理に加えて、プロファイルフィッティングを用いて、ピーク情報をより精密に求めることが可能です。
    得られたピーク情報から、化合物の組成、ミスマッチ量、超格子の周期などを求めることもできます。
  • 反射率解析
    熟練解析者の経験が詰まった「拡張フーリエ解析」を使用すれば、経験の浅い方でも簡単に解析を始めることができます。
    また、「グローバルフィット機能」(特許出願中)を用いれば、実際の膜構造が設計値にあまり近くない場合でも、真の構造を求めることが可能です。
  • 拡張ロッキングカーブ解析
    これまで困難だったすれすれ入射によるシミュレーションや、あらゆる晶系、格子マッチングでのシミュレーションが可能になりました。
    また、HTML/スタイルシートによるレポート機能も充実しています。(特許出願中)
GlobalFit

最新の理論に基づいたシミュレーション・パラメーター最適化により薄膜の解析時間を大幅に短縮します。

  • すれすれ入射X線散乱法(反射X線小角散乱法)による低誘電率層間絶縁膜(Low-k膜)の評価
  • X線を試料表面すれすれに入射すると、表面構造や薄膜構造を知ることができます。最もポピュラーなすれすれ入射X線測定はX線反射率測定です。X線反射率測定は薄膜材料を問わず、高精度に密度・膜厚・ラフネスを算出することが可能で、多層膜の薄膜構造解析に利用されています。・・・・・
  • X線反射率法による薄膜評価
  • 表面が平坦な物質の表面すれすれにX線を入射すると、X線に対する物質の屈折率は1よりもわずかに小さいため、試料表面で全反射を起こします。また、表面や膜の界面で反射され、試料表面への入射角度を連続的に変化させると、互いに干渉したX線の強度は振動として観測されます。・・・・・




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