XRTmicron
- 高輝度2波長X線源:MicroMax-007 DW
- 高解像度・高分解能X線カメラ:XTOP(5.4μmピクセル)
- 超高解像度・超高分解能X線カメラ:HR-XTOP(2.4μmピクセル)
- ウェハへの人為的歪みを最小限に抑えるための水平サンプルマウント
- 最良の転位画像品質のための自動ウェーハ曲率補正
- X線アノードスイッチ、検出器スイッチ、光学系スイッチとアライメント、サンプルアライメント、および画像収集を含む自動システム操作
- 自動転位解析
- 3、4、6、8、12、18インチウェーハ対応
- ウェハローダ対応
ハイスループット&高分解能X線トポグラフイメージングシステム
非破壊で転位などの結晶欠陥、表面への貫通転位やエピタキシャル層の欠陥などを検出
諸元/仕様
製品名 | XRTmicron |
手法 | X線トポグラフイメージング |
用途 | 単結晶材料の非破壊評価 |
テクノロジー | 透過トポグラフと反射トポグラフ切り替え |
主要コンポーネント | 高輝度微小X線光源、特殊X線ミラー光学系、高解像度・高分解能X線カメラ |
オプション | HR-XTOPカメラ、結晶コリメータ、搬送機、結晶欠陥ソフトウェア |
制御(PC) | 外部PC、MS Windows® OS |
本体寸法 | 1800(W) x 1980 (H) x 1950(D)(mm) |
質量 | 約 2200 kg(本体) |
電源要件 | 三相 200 V, 15 A |
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