3次元表示・解析ソフトウェア 3D Explore
- 平滑化
逆格子の測定データ特有のシャープなピーク形状を損なわないよう、ピークの形状を保持したままノイズのみを除去します。 - バックグラウンド除去
一定値を差し引くだけでなく、プロファイル解析にいり、バックグラウンド領域を正確に同定して除去することもできます。 - ピークサーチ
近接し重なったピークが、プロファイルフィッティングにより自動的に分離され、ピーク位置や積分強度が算出されます。 - 方位回転
リガク独自の極点図3Dビューを利用して、測定データの方位を簡単かつ直感的に回転させることができ、極点図を見たい方向から表示できます(特許取得済み)。

逆格子マップや極点のデータを3次元表示し、各種解析処理を行う、結晶性評価・構造評価および結晶方位・配向評価のためのソフトウェアです。
トポフラフィー表示・カラーマップだけでなく、等強度面表示、Contour表示などもサポートしています。

- 逆格子マップによるSGOIウェーハの結晶性評価
- 広域逆格子マップ測定のデータから異なる配向の存在を評価する
- 高速1次元X線検出器による逆格子マップ測定~SiGe薄膜の格子歪み量(緩和率)の評価~
逆格子マップとは、結晶性物質の格子面間隔と結晶方位分布を2次元表示したものです。単結晶基板・エピタキシャル薄膜などの結晶性や格子歪みの状態が一目でわかります。・・・・・
広域逆格子マップ測定では、2θ方向とχ方向(試料あおり方向)の情報が得られます。そのため、2θ/θ測定のプロファイルのみでは判断できなかった異なる配向組織の存在を一目で把握することができます。・・・・・
SiGe(シリコンゲルマニウム)を応用したトランジスターは、消費電力が小さく、高速で動作します。SiGeは、SiにGeを固溶させたもので、Siよりも移動度が高く、格子歪み量が大きいほど大幅な移動度の増大が期待できます。・・・・・
