Productos de metrología de semiconductores

Herramientas de TXRF

TXRF-V310   TXRF-V310
Metrología de contaminación de superficie elemental ultratrazas por TXRF con capacidad de VPD, acepta obleas de hasta 300 mm
  TXRF-310   TXRF-310
Metrología de seguimiento elemental de contaminación de superficie por TXRF; acepta obleas de hasta 300 mm
  TXRF 3760   TXRF 3760
Metrología de seguimiento elemental de contaminación de superficie por TXRF; acepta obleas de hasta 200 mm
 
TXRF 3800e   TXRF 3800e
Metrología de seguimiento elemental de contaminación de superficie por TXRF; acepta obleas de hasta 200 mm
 

Herramientas de XRF (FRX)   


WaferX 310   WaferX 310
Espectrómetro de WDXRF en línea, simultáneo para la metrología de películas de obleas de metal, acepta obleas de hasta 300 mm
  WDA-3650   WDA-3650
Espectrómetro simultáneo de WDXRF para la metrología de película de obleas de metal, acepta obleas de hasta 200 mm
  ZSX 400   ZSX 400
Espectrómetro de WDXRF secuencial para el análisis elemental y metrología de películas delgadas de muestras grandes y/o pesadas

Combo de herramientas   


MFM310   MFM310
Procesos de XRR, FRX (XRF), y herramienta de metrología de difracción de rayos X para obleas de patrones o modeladas; acepta obleas de hasta 300 mm
 

Rigaku es un pionero y líder mundial en el diseño y fabricación herramientas de medición basadas en rayos X para resolver los retos de fabricación de semiconductores. Con más de 25 años de liderazgo en el mercado mundial de la industria de los semiconductores. Nuestras familias de productos permiten de todo, desde la metrología de control de proceso en-FAB a la I+D para películas delgadas y caracterización de materiales. Rigaku se especializa en la fabricación de herramientas de metrología de fluorescencia de rayos X, difracción de rayos X y herramientas de metrología de XRR (Reflectometría de rayos X) para medir los parámetros críticos del proceso como la película delgada: su espesor, composición, densidad, rugosidad, porosidad, y la estructura cristalina. Además, ofrecemos herramientas para procesos TXRF y VPD-TXRF para la medición de la contaminación. Con un servicio y soporte global 24/7, Rigaku ofrece soluciones de vanguardia para la mejora del rendimiento y desarrollo del proceso.