Pasar al contenido principal
TXRF 3760
Características
  • Facilidad de operación y resultados de análisis rápidos.
  • Acepta obleas de 200 mm y más pequeñas.
  • Diseño compacto, pequeño.
  • Fuente de ánodo giratorio de alta potencia.
  • Amplia gama de elementos analíticos (Na ~ U)
  • Sensibilidad a elementos ligeros (para Na, Mg y Al)
  • Aplicación a Si desnudo y a sustratos que no son de Si.
  • Importe coordenadas de medición desde herramientas de inspección de defectos para el análisis de seguimiento.

Metrología de contaminación superficial

Mida la contaminación elemental en puntos discretos o con mapas completos de obleas

El análisis TXRF puede medir la contaminación en todos los procesos fab., incluyendo limpieza, litografía, grabado, cenizas, películas, etc. El TXRF 3760 puede medir elementos desde Na hasta U con un sistema de rayos X de 3 haces de un solo objetivo y un sistema detector sin nitrógeno líquido.

El TXRF 3760 incluye el sistema patentado de etapas de muestra XYθ de Rigaku, un sistema de transferencia robótica de obleas al vacío y un nuevo software de Windows fácil de usar. Todo esto contribuye a un mayor rendimiento, mayor exactitud y precisión, y una operación de rutina fácil. El software opcional Sweeping TXRF permite el mapeo de la distribución de contaminantes sobre la superficie de la oblea para identificar "áreas difíciles " que se pueden volver a medir automáticamente con mayor precisión.

La capacidad opcional ZEE-TXRF supera la histórica exclusión de borde de 15 mm de los diseños originales de TXRF, lo que permite realizar mediciones con exclusión de borde cero.

Especificaciones
Nombre del producto TXRF 3760
Técnica Fluorescencia de rayos X por reflexión total (TXRF)
Ventajas Análisis elemental rápido, de Na a U, para medir la contaminación de obleas en todos los procesos de fab
Tecnología Sistema TXRF de 3 haces con detector libre de nitrógeno líquido
Atributos principales Obleas de hasta 200 mm, sistema de etapa de muestra XYθ, sistema de transferencia robótica de obleas al vacío, software de comunicación ECS/GEM
Opciones principales El software de barrido TXRF permite el mapeo de la distribución de contaminantes sobre la superficie de la oblea para identificar "puntos difíciles". La capacidad ZEE-TXRF permite realizar mediciones con exclusión de borde cero
Computadora PC interna, sistema operativo MS Windows®
Dimensiones principales 1000 (ancho) x 1760 (alto) x 948 (profundo) mm
Cuerpo 100 kg (unidad central)
Requerimientos de energía 3Ø, 200 VAC 50/60 Hz, 100 A